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麥克項目案例 | 麥克傳感為壓阻真空計提供精準壓力監測

時間 : 2022-11-04      作者 : 麥克傳感器股份有限公司 柏浩、徐磊

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什么是真空計?

真空計,又稱規,一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓測量儀器。主要應用于真空環境真空度的測量領域,如真空鍍膜、太陽能集熱管制作、真空冶煉等。

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擴散硅壓阻真空計作為真空計中應用較多的一類設備,其工作原理就是通過內部的壓力傳感器進行信號調理后,由高精度數字采集系統采集、分析,直接輸出數字信號,這樣可以直接顯示出被測真空環境的真空度。

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擴散硅壓阻真空計通常應用在半導體行業、真空鍍膜等領域,因此作為主要測量部件的壓力傳感器也需要適應不同領域的測量環境,這就需要壓力傳感器需要滿足測量穩定、精度高、耐腐蝕、耐高壓等要求。

麥克傳感提供MPM281壓力傳感器助力擴散硅壓阻真空計精準監測,完美應對不同應用環境下的嚴苛挑戰。

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麥克傳感推薦產品

麥克傳感MPM281型高穩壓力傳感器芯體

● 測量范圍:0kPa ~ 7kPa…100MPa;

● 具有表壓、絕壓和密封表壓形式;

● 恒流、恒壓供電可選;

● 硅油、氟碳油等可選充灌液,適用于多種流體介質;

● Φ19mm 標準 OEM 壓力敏感元件;

● 全不銹鋼 316L 材質,更耐腐蝕;

● 寬溫度補償范圍 -10℃~ 80℃;

● 長期穩定性可達 ±0.1%FS/ 年,測量更加穩定。

未來,麥克傳感將繼續深耕真空測量領域,為其提供更多專業的測量產品與定制化解決方案。